Si-SiC（反応焼結SiC）ヒーターチューブフランジ面 平面研磨加工

Si-SiC（反応焼結SiC）ヒーターチューブ・保護管で、雰囲気炉や真空炉で使用される場合にはフランジ部分のシール性が要求されます。下写真：チューブサイズφ119ｘL1400mm　フランジ外径φ155mm

チューブ本体が大きく長い為、今まではフランジ部の平面研磨は容易ではありませんでしたが、それが可能になりました。本部位はエラストマーOリング使用のため、表面粗さRa 1.5 以下の研磨仕上げで管理し（研磨仕上げ=放射状研磨痕/あやめ模様有り）、十分な気密性を確保できます。