新設計SiC+アルミナ ・サンドイッチセッター

サンドイッチセッターはSiCの高温強度・耐ヒートショック性とアルミナの低反応性を両立させた昔からあるセッターですが、従来のSiC+アルミナ・サンドイッチセッターは側面にSiCが露出していました。新設計サンドイッチセッターは側面もアルミナ層で覆い、SiCとワークの反応性を更に抑えました。

写真の新設計サンドイッチセッターは320x320x12tで、中心のSiC部の厚み8mm+アルミナを両面に2mmずつ積層させています。またSiC部には切込みも有り割れにくくなっています。